高效过滤器检漏方法及标准

高效过滤器检漏是确保洁净室设施中空气流通效率的关键步骤，主要目的是验证过滤器是否存在旁路渗漏或缺陷，如过滤器介质和密封框架上的小孔、其他损伤以及边框泄漏等，以确保终端高效过滤器的安装良好。

DOP法通过将DOP液体加热成蒸气，蒸气在特定条件下冷凝成微小液滴，形成单分散相气溶胶颗粒。通过光散射式光度计检测过滤器前后气样的浊度比来计算过滤器的过滤效率。

这是一种国际上高效过滤器的主流试验方法，通过大流量激光粒子计数器或凝结核计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检验，可以测量过滤器的平均效率，同时比较各点的局部效率（渗漏试验）。